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石英掩膜版

蘇打玻璃常用在STN-LCD、TN-LCD、FED、EL行業(yè)專用光學(xué)掩模版基材

類別	石英掩膜版
常規(guī)尺寸(mm)	3"X3", 4"X4", 5"X5", 6"X6", 7"X7", 9"X9", 12"X12", 14"X17", 16"X18",20”x24”
	450mm×550mm,400mm×400mm, 700mmX800mm
最大尺寸(mm)	850*1200
特殊尺寸(mm)	按客戶要求定做（XY=20~609mm）
基材厚度(mm)	2.3 3.0 5.0 6.4 8.0
鉻膜類型	ARC Anti-Reflective Chrome
熱性能（℃）	1730℃
溫度收縮系數(shù)	5.0*10-7 /℃ (20~200℃)
透過率	>90%(T=2.3mm；l=200nm）
折射率	1.46
垂直入射反射率	約2%（片面反射約1%）
耐酸性能	H2SO4(80℃,98%) 0.0?/min
耐堿性能	NaOH（Wt2%）0.4?/min
表面平整度	<20um（4004003.0mm)

小尺寸鉻版（≤9英寸）
類別	超高精度/高精度（228.6mm*228.6mm）					中精度/低精度（228.6mm*228.6mm）
類別	線縫尺寸（μm）	線縫精度（μm）	垂直度（urad）	總長精度（μm）	位置精度（μm）	線縫尺寸（μm）	線縫精度（μm）	垂直度（urad）	總長精度（μm）	位置精度（μm）
石英	≥1	≤0.5	≤0.5	<0.3	≤0.1	≥3	≤0.5	≤0.5	≤0.5	≤0.2

大尺寸鉻版（>9英寸）
類別	超高精度/高精度（400mm*450mm）					中精度/低精度（400mm*450mm）
類別	線縫尺寸（μm）	線縫精度（μm）	垂直度（urad）	總長精度（μm）	位置精度（μm）	線縫尺寸（μm）	線縫精度（μm）	垂直度（urad）	總長精度（μm）	位置精度（μm）
石英	≥2	≤0.5	≤0.5	≤0.75	≤0.5	≥5	≤1	≤1	≤1	≤0.75

晶圓切割| 陶瓷管殼封裝| sop8封裝| 掩膜版

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