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壓力傳感器mems設(shè)計和工藝流程

點擊量:2311 日期:2021-10-21 編輯:硅時代

  MEMS壓力傳感器類型眾多,其中屬硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器應(yīng)用最為廣泛,技術(shù)最為成熟。
  涉及的主要工藝流程包括:薄膜制備、刻蝕、鍵合、封裝。
  運用到大量且復(fù)雜的mems設(shè)計工藝技術(shù),有:薄膜制備技術(shù)、濺射技術(shù)、摻雜技術(shù)、刻蝕技術(shù)、鍵合技術(shù)、封裝技術(shù)等。

  在實際操作中,工藝步驟設(shè)計應(yīng)該以簡單、高成本效益為原則,根據(jù)最終設(shè)計方案的差異,工藝流程也有不同。

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