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飛秒激光微納加工的動力學原理

點擊量：1519 日期：2021-11-26 編輯：硅時代

　　由于能量集中度高、熱影響區(qū)域小、沒有殘渣飛濺和熔渣、不需要特殊的氣體環(huán)境、沒有后續(xù)工藝、雙光子聚合加工精度高（精度可達到0.7um）等優(yōu)勢，飛秒激光在精細加工及微納加工技術的隱形切割方面都取得了很大的進展。

　　根據(jù)不同的特性，飛秒激光作用的領域也不盡相同：
1、其熱影響區(qū)域小，加工精度高可用于表面微加工及納米級深孔加工工藝；
2、根據(jù)其加工精度高，微型化能力強可用于光通信領域中光波導、光柵、光子晶體、微通道等的制備；
3、根據(jù)其“冷”加工，能量消耗低、準確度高的優(yōu)點，可在生物領域有很強的應用前景。

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