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mems設(shè)計(jì)之硅壓阻式壓力傳感器設(shè)計(jì)

點(diǎn)擊量：1159 日期：2022-04-12 編輯：硅時(shí)代

　　mems設(shè)計(jì)之硅壓阻式壓力傳感器，顧名思義就是通過感知壓力變化工作的傳感器，其原理是敏感膜受壓后發(fā)生形變，引起惠斯通電橋的不平衡變化，繼而改變輸出電信號(hào)。在傳感器設(shè)計(jì)上，為了使傳感器具備良好線性輸出，要考慮其最大變形量，敏感薄膜表面最大應(yīng)力差以及敏感芯片的壓敏電阻變化率，以滿足器件抗過載和輸出靈敏度的要求。 


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