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飛秒激光微納制造技術(shù)
點(diǎn)擊量：1571 日期：2022-06-28 編輯：硅時代
飛秒激光微納加工制造技術(shù)是以微電子，微光學(xué)，微機(jī)械為核心的，集現(xiàn)代光學(xué)，電子學(xué)，材料學(xué)，激光技術(shù)，精密機(jī)械，計(jì)算機(jī)技術(shù)等多門技術(shù)于一體的，是飛秒激光應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域的研究重點(diǎn)。就目前各個大學(xué)的研究現(xiàn)狀來看，飛秒激光微納制造目前已經(jīng)形成了各自不同的激光與物質(zhì)相互作用機(jī)制，具體包括微爆炸機(jī)制，熱熔機(jī)制，色心與缺陷機(jī)制等等。中國科技大學(xué)在飛秒激光雙光子光聚合微細(xì)加工研究方面具有代表性。
