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2020-06-08
MEMS加工技術工藝是根據產品需要,在各類襯底(硅襯底,玻璃襯底,石英襯底,藍寶石襯底等等)制作微米級微型結構的加工工藝。而ic工藝則側重于半...
2020-05-22
微納加工氧化工藝是在高溫下,襯底的硅直接與O2發(fā)生反應生成SiO2,后續(xù)O2通過SiO2層擴散到Si/SiO2界面,繼續(xù)與Si發(fā)生反應增加SiO2薄膜的厚...
2020-05-19
mems加工,mems代工服務的地方 MEMS代加工服務商分為IDM廠商提供的MEMS代工和純MEMS代工廠: IDM廠商提供的MEMS代工包括博世...
2020-03-31
微納米加工的圖形化工藝主要分為圖形轉移和直接加工兩種技術,圖形轉移技術包括三個部分:薄膜沉積,圖形成像,圖形轉移。而直接加工的激光束蝕刻技術...