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2023-08-07
碳化硅單晶生長之后是晶碇，而且具有表面缺陷，是沒法直接用于外延的，這就需要加工。其中，滾圓把晶碇做成標(biāo)準(zhǔn)的圓柱體，線切割會把晶碇切割成晶片，...
2023-08-07
顯影是在曝光后的重要步驟，利用曝光區(qū)域在化學(xué)性質(zhì)上與未暴光的區(qū)域不同，在特定的化學(xué)溶液中選擇性的保留曝光區(qū)域（負(fù)膠）或者未曝光區(qū)域（正膠）的...
2023-08-04
藍(lán)寶石單晶，是純凈的三氧化二鋁（α-Al2O3），具有極好的熱導(dǎo)性、電氣絕緣性、透光性、化學(xué)穩(wěn)定性，以及耐高溫、高強度、高硬度等一系列優(yōu)良的特性...
2023-08-04
聚焦離子束（FIB）技術(shù)是將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速，聚焦后作用到樣品表面并進(jìn)行納米加工。目前已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路修改、切割和故...
2023-08-03
1.離子束刻蝕（IBE）技術(shù)的原理？ 離子束刻蝕（IBE，Ion Beam Etching）也稱為離子銑（IBM，Ion Beam Milling），也有人稱之為離子濺射刻...
2023-08-03
晶圓鍵合是近十幾年快速發(fā)展起來的新興半導(dǎo)體加工技術(shù)，在MEMS，CIS和存儲芯片等領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用，得到越來越多的關(guān)注。 在信息的海洋中，晶...
