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mems傳感器的加工尺寸

點(diǎn)擊量：1679 日期：2022-03-15 編輯：硅時(shí)代

　　mems即Micro-Electro-Mechanical Systems的縮寫(xiě)，意為微機(jī)電系統(tǒng)。

　　mems傳感器就是利用mems技術(shù)制造的傳感器。mems加工通常是由1-100μm的部件組成，微機(jī)電設(shè)備的尺寸大多是20μm-1mm，也代表mems傳感器體積更能適應(yīng)智能設(shè)備的小型化需求，mems傳感器的加工尺寸長(zhǎng)寬高也都在毫米級(jí)別。

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